苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

吴中区气体管道-气体管道公司-苏州珂锐弘扬流体

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

实验室供气系统设计要点

　　（1）通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器，在气瓶出口装有单向阀，可避免更换气瓶时有空气和水分混入，另外在一端安装泄压开关球阀，将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道，保证仪器用气的纯度。

　　（2）集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定，采用二级减压的方式，一是，经过第i一级减压后，干路压力比气瓶压力大大降低，起到了缓冲管道压力的作用，提高了用气的安全，降低了应用的风险，二是保证仪器供气入口压力的稳定，降低了因为气体压力波动而引起的测量误差，保证了仪器使用的稳定性。

　　（3）由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体，如甲i烷，乙i炔，氢气，做这易i燃气体的管路时，应注意管路尽量短，减少中间接头的连接，同时，气瓶一定装入防爆气瓶柜内，气瓶输出端接回火器，可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸，防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口，且有泄漏报警装置，一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。

特气管道工程

　　特气就是特种气体，指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。区别于我们呼吸的空气（含21%氧，78%氮，1%水、二氧化碳等），其纯度一般在99.99%（4N）以上。

　　特气管道施工一般分为主系统，二次配主系统，根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险，只要根据客户要求按照规范去施工，二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工，一般都会在无尘室进行，二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质，我们在无尘室施工，要在客户工程师的陪同下进行，对于无尘室的阀门及类似阀门的开关，不要乱动，无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置，一旦有气体泄露，我们应丢下手中任何工作，通过安全指示撤出无尘室。